진공펌프 사용목적은 대기압보다 낮은압력을 가진 상태로 만들기 위하여 기체로 채워진 진공용기로부터 기체분자들을 제거하기 위한 것이다.
일반적으로 진공의 압력범위는 대기압부터 극고진공까지 매우 광범위하나 전 영역에 사용할 수 있는 진공펌프는 아직 개발되지 않았다.
따라서 공정에 알맞는 펌프를 사용하여야 하는데 이것은 제품의 품질과 작업의 효율성에 직결되는 일일뿐아니라, 펌프의 수명에도 영향을 미친다.
따라서 펌프 선정시 다음의 사항을 고려하여 선정하여야 한다.

① 작업진공도 체크
각공정에서 요구되는 진공도를 체크한다. 각공정마다 원할한 작업을 위해 요구되는 최적의 진공도가 있게 되는데 생산공정에 관한 DATA를 가지고 충분히 검토한다.

② 펌프의 최대진공도 체크
위에서 체크한 작업진공도를 무리없이 도달해 낼 수 있는 펌프의 최대진공도를 체크한다. 최대진공도가 어느정도되어야 작업진공도를 무리없이 소화해낼수 있는지는 작업상태에 따라 다르나, 일반적으로 작업최대진공도가 작업진공도보다 20%, 펌프최대진공도는 50% 더 낮은 것이 적당하다.

③ 흡입되는 가스의 종류와 양
진공제거 작업중 발생하는 가스의 종류나 양을 점검 체크한다. 즉 흡입되는 가스가 펌프내의 Liquid와 상반될 경우 펌프 역할을 떨어뜨리므로 펌프선정시 고려해야한다. 진공 공정작업중 총 발생가스량과 적정배기시간을 고려하도록 한다.

④ 진공용적의 양
작업진공까지 걸리는 시간을 배관의 흐름저항 및 Leak를 고려하여 체크한다.

⑤ 요구 진공도 도달 및 유지시간 체크
요구진공도까지 도달하는 시간과 발생하는 가스의 양을 고려한 진공도 유지여부를 체크한다.

⑥ 펌프의 용량 계산

s = 2.303 ×( V/T ) ×Log( P1/P2 )
S : 진공펌프의 용량(ℓ/min)
V : 용기의 용량(ℓ)
T : 진공도달시간 (min)
P1 : 초기진공도(일반적으로 대기압 760 Torr)
P2 : 요구진공도

예) 배관 및 용기의 용적 : 500ℓ
작업진공도 : 50 Torr
진공도달진공도 : 30 Sec
S = 2.303 (500/30/60) Log(760/50)
≒ 2722 ℓ/min

그러나 위의 계산은 여러변수(배관의 흐름저항, 리크(Leak), 휠터 및 밸브의 저항계수 흡입공기의 온도등)들을 고려하지않는 이론상의 용량에 불과한 것이다. 실제 적용시는 위의 사항을 고려하여 다음의 표와 같이 안전계수를 곱해주어 용량을 계산한다.
또한 위의 배기량공식은 점성유동 배기까지인 0.01Torr까지 제한되며 그이하의 진공도 즉, 분자유동 배기단계 에서는 용기내 금속표면으로부터 공기입자가 빠져 나오게 되므로 적합하지 않다고 볼 수 있다.